Titulaires d'une chaire
Profil
Paul Charette
Département de génie électrique et génie informatique
Université de Sherbrooke
Titre de la chaire
Chaire de recherche industrielle CRSNG-Teledyne DALSA en MEMS et microphotonique de prochaine génération
Programme de la chaire
Programme de professeurs-chercheurs industriels
Rôle
Titulaire principal depuis 2019
Titulaire associé
Sommaire
La révolution engendrée par l’industrie de la microélectronique au cours des dernières décennies a donné naissance à une vaste gamme de systèmes miniaturisés qui font désormais partie du quotidien. Deux des domaines les plus importants des technologies en présence sont les systèmes microélectromécaniques (MEMS) et la photonique intégrée (« lumière sur puce »). Elles sont au cœur des réseaux de télécommunications modernes et des applications en plein essor de l’Internet des objets (IdO).
Cette chaire de recherche principale, qui est détenue conjointement par les professeurs Paul Charette et Luc Fréchette, vise à intégrer des matériaux, procédés de fabrication et composants nouveaux ou améliorés dans la production industrielle de MEMS et de dispositifs microphotoniques à haute performance de prochaine génération. Des matériaux fonctionnels seront mis au point sur des outils industriels pour tranches de 200 mm, comme des couches minces piézoélectriques sans plomb perfectionnées pour les capteurs, les actionneurs et les récupérateurs d’énergie MEMS intégrés, ainsi que des couches minces thermorésistives pour les imageurs infrarouges peu couteux. Les procédés de fabrication pour l’intégration sur tranche et l’encapsulation seront améliorés grâce au développement de techniques de collage direct avec couches minces et de méthodes permettant l’encapsulation à faible cout des tranches sous vide. De plus, des microstructures photoniques destinées à l’imagerie seront mises au point pour accroitre la sensibilité des imageurs thermiques utilisant des antennes plasmodiques et introduire la sélectivité des longueurs d’onde pour l’imagerie hyperspectrale infrarouge. Des structures photoniques intégrées seront aussi élaborées pour tirer parti des plateformes de matériaux en nitrure d’aluminium et en nitrure de silicium destinées respectivement aux applications de photonique cohérente dans l’infrarouge moyen et lointain et aux applications de photonique quantique.
Le programme de recherche tire pleinement parti de l’expertise hautement complémentaire des cotitulaires de la chaire englobant la microfabrication (matériaux et procédés), la physique des dispositifs et la conception de microsystèmes. Le professeur Charette est un expert en photonique intégrée pour l’imagerie et la détection, tandis que le professeur Fréchette est un expert en fabrication et en conception de MEMS. Par ailleurs, la chaire est le fruit d’une collaboration intense et fructueuse avec Teledyne DALSA qui dure depuis plus d’une décennie, une collaboration reconnue en 2019 par l’attribution du Prix Synergie pour l’innovation du CRSNG.
Teledyne DALSA apporte à ce partenariat son expertise de classe mondiale en fabrication de dispositifs semiconducteurs pour les MEMS et l’imagerie, ainsi qu’une voie pour la commercialisation de matériaux, procédés et dispositifs novateurs qui découleront du programme de recherche de la chaire. Le partenariat est grandement renforcé par les installations du Centre de collaboration MiQro Innovation (C2MI) voisin, où les interactions quotidiennes entre les étudiants et les collaborateurs de l’industrie favorisent le transfert de connaissances et la formation professionnelle à l’aide d’une infrastructure industrielle de pointe.
Teledyne DALSA profitera de l’accès à du personnel formé et hautement qualifié, à des matériaux et des procédés avancés ainsi qu’à de nouvelles technologies MEMS, d’imagerie et de photonique intégrée. Le programme de recherche offrira aux étudiants un milieu de formation unique dans un contexte de R et D industriel et de projets multidisciplinaires.
En outre, le programme permettra des avancées scientifiques et technologiques importantes, notamment en matière de science des matériaux, de nouvelles technologies MEMS et photoniques et de nouvelles applications, et génèrera des avantages économiques importants pour le Canada grâce à la formation de personnel hautement qualifié et à une offre de produits élargie chez Teledyne DALSA. Il apportera également des avantages sociaux importants au Canada en cette ère marquée par le numérique, grâce à une plus grande accessibilité des technologies intelligentes connectées pour les soins de santé et la surveillance environnementale, ces avantages découlant de couts de fabrication réduits et de l’intelligence accrue des dispositifs intégrés.
Partenaires
- Teledyne DALSA
- PROMPT
Coordonnées
Département de génie électrique et génie informatique
Université de Sherbrooke
Courriel : paul.charette@usherbrooke.ca
Site Web :
https://www.usherbrooke.ca/recherche/fr/expertus/?getSpecialist=856724
